技術參數 1.測量箱有效內部尺寸:
2.視準器:可編程的,電機控制的4個視準器尺寸:ø0.2mm ø0.6mm ø1mm ø2mm 3.探測器:Si-PIN-二極管; Peltier-冷卻 (約 -30°C). 無須液氮冷卻 4.能量分辨率:180 eV 5.元素范圍:鋁 (Z=13) to 鈾 (Z=92) 6.測量距離修正方法:的DCM-方法 (Distance Controlled Measurement距離控制測量) 允許工件表面凹陷處的測量 | ||||||||||
主要特點 1.針對歐盟的RoHS指令開發(fā)的有害物質測量設備。 | ||||||||||
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