全自動(dòng)CVD滑軌爐設(shè)備操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做石墨烯的生長(zhǎng)、高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火,尤其適合需要快速升降溫的CVD試驗(yàn)。
全自動(dòng)CVD滑軌爐技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)目 | 明細(xì) |
供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機(jī)功率 | 5KW |
工作溫度 | ≤1100℃ |
加熱速率 | 建議10℃/min |
爐管尺寸 | O.D.50mm-220mm-220mm(加熱區(qū))-1200mm管長(zhǎng) |
控溫精度 | 0.1℃ |
溫區(qū) | 雙溫區(qū) |
混氣系統(tǒng) | 4路質(zhì)子流量計(jì):100sccm1個(gè);200sccm1個(gè);500sccm2個(gè) |
真空泵 | 雙極旋片真空泵 |