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工業(yè)測量顯微鏡的功能及應(yīng)用
發(fā)布時間：2025-8-14
工業(yè)測量顯微鏡又稱工具顯微鏡，廣泛應(yīng)用于許多行業(yè);
特別是在電子行業(yè)，廣泛應(yīng)用于電路板、液晶模塊、IC、光通信、模具五金、汽車工業(yè)、計量工業(yè)及其它領(lǐng)域;
將XYZ三軸精密光柵尺與XYZ三軸測量、超視線XY幾何測量相結(jié)合。
一步到位觀察、測量和處理。
工業(yè)化測量顯微鏡
工業(yè)化測量顯微鏡有折射光和透射光兩種照明方法。
不同的照明方式，不同的觀察圖像，因此需要根據(jù)不同的工件和測量位置，選擇最合適的照明方式。
折射光，透射光路圖
散射照明
★選擇通過輪廓光觀察的方法，特別是在觀察和測量輪廓時，邊緣清晰易觀察。
NO.2反射照明
★用于分析和測量表面特性的垂直直射測量工件的表面。
采用工業(yè)測量顯微鏡有四種觀察方法，即：明場觀察、暗場觀察、偏光觀察、微分干預(yù)。(DIC)觀察。
明場觀察
★在樣品表面垂直直射，適用于金屬、印刷電路板、IC、觀察液晶ITO淺孔表面。
NO.2暗場觀察
★通過觀察工件發(fā)出的散射光，可以觀察PCB油墨的顏色、灰塵、劃痕間隙、凹凸以及在明場下無法觀察到的低反射樣品。
NO.3偏光觀察
★對半導(dǎo)體材料、液晶、晶體、金屬組織、礦物、纖維等表面觀察有偏光特征的物質(zhì)進行觀察。
NO.4微分干預(yù)(DIC)觀察
★使用DIC棱鏡將光源分成兩束，產(chǎn)生明暗度和對比度的變化，可以進行三維觀察。適用于觀察液晶模塊的壓焊顆粒、硅片的晶體缺陷、磁頭磨面的損壞檢測、金屬組織、礦石表面、涂層表面等。