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NTRON Microx-223氧分析儀如何監(jiān)控半導(dǎo)體立式退火爐氧含量
發(fā)布時(shí)間：2025-1-23NTRON Microx-223氧分析儀在監(jiān)控半導(dǎo)體立式退火爐氧含量時(shí)，可以遵循以下步驟和要點(diǎn)：
1.安裝與校準(zhǔn)
安裝位置：將Microx-223氧分析儀安裝在半導(dǎo)體立式退火爐的氣體出口或?qū)ｉT的取樣點(diǎn)，確保傳感器能夠直接、準(zhǔn)確地接觸到爐內(nèi)處理過程中的氣體。
校準(zhǔn)：在安裝之前，對(duì)氧分析儀進(jìn)行的校準(zhǔn)，包括零點(diǎn)校準(zhǔn)和量程校準(zhǔn)。這可以確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
2.報(bào)警與監(jiān)控閾值設(shè)置
設(shè)置報(bào)警閾值：在控制系統(tǒng)中，為Microx-223氧分析儀設(shè)置報(bào)警閾值。當(dāng)氧含量超過或低于這些閾值時(shí)，系統(tǒng)應(yīng)能夠觸發(fā)警報(bào)，以通知操作人員及時(shí)采取措施。
監(jiān)控閾值：設(shè)置監(jiān)控閾值以便操作人員和質(zhì)量控制團(tuán)隊(duì)可以持續(xù)監(jiān)控氧含量，并據(jù)此調(diào)整工藝參數(shù)或進(jìn)行故障排除。
3.技術(shù)參數(shù)與應(yīng)用特點(diǎn)
測量范圍：Microx-223氧分析儀的測量范圍為1ppm到25%的氧氣含量，滿足半導(dǎo)體工藝對(duì)氧含量監(jiān)測的精度要求。
傳感器技術(shù)：采用快速響應(yīng)的LT氧化鋯傳感器，確保了對(duì)氧含量變化的快速準(zhǔn)確感知。
環(huán)境適應(yīng)性：專為嚴(yán)苛環(huán)境應(yīng)用而開發(fā)，具有可靠的氧化鋯傳感器技術(shù)和快速響應(yīng)的特性，使其能夠在半導(dǎo)體立式退火爐等復(fù)雜環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行。
4.維護(hù)與校準(zhǔn)
定期維護(hù)：根據(jù)制造商的建議和半導(dǎo)體工藝的要求，定期對(duì)Microx-223氧分析儀進(jìn)行維護(hù)和檢查，確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行。
校準(zhǔn)頻率：根據(jù)使用情況定期對(duì)氧分析儀進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 測量范圍：1ppm-25% O2
● 響應(yīng)快（T90響應(yīng)時(shí)間<10>
● 導(dǎo)軌式安裝
● LCD 顯示和 4 個(gè)多功能按鈕
● 4-20mA 信號(hào)輸出
● RS-232 通訊協(xié)議 （可選485通訊）
● 24VDC 供電
● 3 組繼電器報(bào)警
● M18x1.5 螺紋過程接口（可選KF40法蘭）