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行業(yè)產(chǎn)品

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上海頻標(biāo)科技有限公司


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半導(dǎo)體設(shè)備方案

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：黃少華查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-03-30 07:53:00瀏覽次數(shù)：59次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：168條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：黃少華 （總經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

多軸精密氣浮運(yùn)動臺用于精密測量，它是集制造、自動控制、電子、光學(xué)、圖形圖像及計(jì)算機(jī)技術(shù)為一體的綜合性交叉學(xué)科，于精密加工緊密聯(lián)系在一起。二次元影像測量儀適用于工件二維平面檢測，三坐標(biāo)測量機(jī)主要用于被測工件的三維立體的測量。由于空間測量時(shí)三坐標(biāo)測量機(jī)應(yīng)用受限，我司研發(fā)制造的多軸精密氣浮運(yùn)動平臺用于精密測量系統(tǒng)中。

詳細(xì)介紹

結(jié)構(gòu)闡述
一維軸采用閉式氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向，垂直采用真空預(yù)載，直線電機(jī)驅(qū)動和光柵尺閉環(huán)反饋，二維軸采用龍門氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向，雙直線電機(jī)驅(qū)動和雙光柵尺閉環(huán)反饋。


線纜管理
經(jīng)過多年制造精密運(yùn)動平臺的經(jīng)驗(yàn)，線纜管理對精度和性能有影響，我們選擇進(jìn)口無塵線纜，精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，以確保操作，減少停機(jī)時(shí)間。無塵線纜相對于普通的坦克鏈，更適用于無塵潔凈室。


密封罩設(shè)計(jì)
龍門軸的密封罩設(shè)計(jì)，帶自清掃功能（特殊設(shè)計(jì)不影響精度性能），防止異物進(jìn)入氣浮導(dǎo)軌內(nèi)部。防止誤操作出現(xiàn)人為傷害。

大理石基座設(shè)計(jì)
采用濟(jì)南大理石做龍門基座及橋架，第七階(前六階為剛體模態(tài)，第七階為柔性模態(tài))模態(tài)為300Hz，想要在此基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，提高模態(tài)，則模態(tài)變?yōu)?07Hz。


氣浮隔振臺
考慮到振動對性能的影響，建議加氣浮隔振。

控制方案
在精密運(yùn)動控制行業(yè)性能及精度保證，可根據(jù)用戶的使用習(xí)慣配置控制方案。


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