Verios 是 FEI 的 XHR（分辨率）SEM 系列的第二代產(chǎn)品。在半導(dǎo)體制造和材料科學(xué)應(yīng)用中，它可在 1 至 30 kV 范圍內(nèi)提供亞納米量級(jí)分辨率以及增強(qiáng)的對(duì)比度，滿足材料精密測(cè)量所需，同時(shí)又不會(huì)削弱傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢(shì)。

可在 1 至 30 kV 范圍內(nèi)提供亞納米量級(jí)分辨率以及增強(qiáng)的對(duì)比度，滿足材料精密測(cè)量所需，同時(shí)又不會(huì)削弱傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢(shì)。可以處理大量敏感的生物樣本，并迅速生成高分辨率圖像，從而洞察細(xì)胞器的關(guān)鍵功能和過(guò)程。

Verios XHR SEM 優(yōu)勢(shì)

• 全新的高對(duì)比度檢測(cè)器 - 對(duì)敏感的生物樣本進(jìn)行成像

• 電子束減速 - 在極低的電壓下提供高分辨率成像和高表面靈敏度

• 電子束熄滅裝置 - 限制敏感的生物樣本的劑量

• 靜電掃描 - 限度減少圖像失真，并改善成像速度，從而進(jìn)一步提高工作效率和質(zhì)量

Verios 的電子工業(yè)應(yīng)用

Verios XHR SEM 推出了全新的檢測(cè)器硬件，將 SEM 的觀測(cè)能力進(jìn)一步拓展至 20 nm 亞納米量級(jí)半導(dǎo)體器件。Verios 可提供的低電壓 SEM 分辨率和材料對(duì)比度，能夠讓半導(dǎo)體工藝控制實(shí)驗(yàn)室測(cè)量對(duì)電子束敏感的材料以及無(wú)法使用傳統(tǒng) SEM 儀器成像的極小結(jié)構(gòu)。 Verios 還包括一些易于使用的新功能，能夠?yàn)?22 nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)及以下的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)提供的每樣本成像和測(cè)量成本。

Verios 的材料科學(xué)應(yīng)用

對(duì)材料科學(xué)家來(lái)說(shuō)，Verios 可以將亞納米表征拓展到當(dāng)下正在開(kāi)發(fā)的全新材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對(duì)象和其他納米量級(jí)結(jié)構(gòu)），從而讓他們獲得重要的新發(fā)現(xiàn)。無(wú)需轉(zhuǎn)而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對(duì)比度圖像。Verios 可靈活用于各類(lèi)研究應(yīng)用，能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣本之類(lèi)的大樣本。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析，也可以開(kāi)展精確的原型設(shè)計(jì)應(yīng)用，例如電子束感應(yīng)式材料直接沉積或光刻。

核心參數(shù)：

背散射電子圖像分辨率 0.6 nm from 2 kV to 30 kV 0.7 nm @1kV 1 nm @ 500 V

二次電子圖象分辨率 40X – 2MX

加速電壓 0.2~30kV

放大倍數(shù) 6~1,000,000x

儀器種類(lèi) 場(chǎng)發(fā)射