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詳細(xì)介紹
無摩擦、免維護(hù)、無磨損零部件帶來的超高可靠性。真空兼容型可達(dá)10-9 百帕
集成式杠桿/導(dǎo)向模塊可實(shí)現(xiàn)多種軸配置的靈活設(shè)置
用于精密導(dǎo)向的無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)大行程的杠桿放大相結(jié)合。由全瓷絕緣PICMA促動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，具有超長使用壽命
帶電容傳感器的直接位置計(jì)量
無接觸式測量法（直接測量）。無摩擦亞納米級(jí)分辨率。的線性度。達(dá)10千赫茲的高帶寬
應(yīng)用領(lǐng)域
科研和工業(yè)。真空環(huán)境達(dá)10-9 百帕
技術(shù)參數(shù)：
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| P-620.1CD | P-621.1CD | P-622.1CD | P-625.1CD | P-628.1CD | P-629.1CD | 單位 | 公差 |
| 主動(dòng)軸 | X | X | X | X | X | X |
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| 集成傳感器 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 |
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| 開環(huán)行程，-20至120伏 | 60 | 120 | 300 | 600 | 950 | 1800 | 微米 | 最?。?0 % / -0 %） |
| 閉環(huán)行程 | 50 | 100 | 250 | 500 | 800 | 1500 | 微米 |
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| 閉環(huán)/開環(huán)分辨率 | 0.2 / 0.1 | 0.4 / 0.2 | 0.7 / 0.4 | 1.4 / 0.5 | 1.8 / 0.5 | 3 / 2 | 納米 | 典型值 |
| 閉環(huán)線性誤差 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.03 | 0.03* | 0.03** | % | 典型值 |
| 重復(fù)精度 | ±1 | ±1 | ±1 | ±5 | ±10 | ±14 | 納米 | 典型值 |
| 螺距/偏轉(zhuǎn)角 | ±3 | ±3 | ±3 | ±6 | ±6 | ±30 / ±10 | 微弧度 | 典型值 |
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| 運(yùn)動(dòng)方向上的剛性 | 0.42 | 0.35 | 0.2 | 0.1 | 0.12 | 0.13 | 牛/微米 | ±20 % |
| 空載諧振頻率 | 1100 | 800 | 400 | 215 | 125 | 125 | 赫茲 | ±20 % |
| 諧振頻率@ 20克 | 550 | 520 | 340 | 180 | 115 | 120 | 赫茲 | ±20 % |
| 諧振頻率@ 120克 | 260 | 240 | 185 | 110 | 90 | 110 | 赫茲 | ±20 % |
| 運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 牛 |
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| 負(fù)載容量 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 牛 |
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| 側(cè)力 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 8 | 牛 |
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| 壓電陶瓷 | PICMA P-883 | PICMA P-885 | PICMA P-885 | PICMA P-885 | PICMA P-887 | PICMA P-888 |
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| 電容 | 0.35 | 1.5 | 3.1 | 6.2 | 19 | 52 | 微法 | ±20 % |
| 動(dòng)態(tài)操作電流效率 | 0.9 | 1.9 | 1.9 | 1.6 | 3 | 4.3 | 微安/(赫茲 × 微米) | ±20 % |
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| 工作溫度范圍 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C |
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| 材料 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
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| 尺寸 | 30 毫米 × 30 毫米 × 12 毫米 | 40 毫米 × 40 毫米 × 15 毫米 | 50 毫米 × 50 毫米 × 15 毫米 | 60 毫米 × 60 毫米 × 15 毫米 | 80 毫米 × 80 毫米 × 17 毫米 | 100 毫米 × 100 毫米 × 22.5 毫米 |
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| 質(zhì)量 | 0.11 | 0.16 | 0.2 | 0.24 | 0.38 | 0.72 | 千克 | ±5 % |
| 電纜長度 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
| 傳感器/電壓連接 | CD版本：Sub-D特殊 CL版本：LEMO |
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