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詳細介紹
偏擺臺用于對動態(tài)有高要求的應(yīng)用
兩條正交偏擺軸，公共旋轉(zhuǎn)中心。并聯(lián)運動設(shè)計可實現(xiàn)兩條軸具有同樣的性能特點。柔性鉸鏈導(dǎo)向可實現(xiàn)無摩擦運動和高剛性。ID芯片支持用于快速啟動。
PICMA®高性能驅(qū)動器
帶全瓷絕緣的壓電陶瓷促動器 使用壽命更長、對濕度不敏感、工作溫度高。
應(yīng)用領(lǐng)域
圖像處理，圖像穩(wěn)像。激光束偏轉(zhuǎn)。掃描顯微鏡。材料處理，平版印刷。光學(xué)過濾器，光學(xué)開關(guān)。
技術(shù)參數(shù)：
| 初步數(shù)據(jù) | | | |
|---|---|---|---|
| 主動軸 | θX、 θY | ||
| | |||
| 集成傳感器 | 應(yīng)變片傳感器 | ||
| 偏擺角，閉環(huán)（0至120伏時的靜態(tài)運動） | ±17.5 | 毫弧度 | |
| 開環(huán)分辨率 | 0.1 | 微弧度 | 典型值 |
| 閉環(huán)分辨率 | 0.2 | 微弧度 | 典型值 |
| 線性度 | 0.05（單向） | % | 典型值 |
| 重復(fù)精度 | 1（雙向） | 微弧度 | 典型值 |
| | |||
| 諧振頻率，空載 | 2.0 | 千赫茲 | ±20 % |
| 帶負載時的諧振頻率（帶直徑為12.7 × 3毫米的Zerodur反射鏡） | 1.7 | 千赫茲 | ±20 % |
| 帶負載時的諧振頻率（帶直徑為25.4 × 5毫米的Zerodur反射鏡） | 0.7 | 千赫茲 | ±20 % |
| 旋轉(zhuǎn)中心和平臺表面之間的間隙 | 3.3 | 毫米 | ±0.5 毫米 |
| | |||
| 陶瓷類型 | PICMA P-885 | ||
| 每軸的電容 | 6.2 | 微法 | ±20 % |
| | |||
| ID芯片功能 | 是 | ||
| 工作溫度范圍 | 0 到 50 | °C | |
| 材料 平臺 | 鈦金屬 | ||
| 質(zhì)量 | 0.065 | 千克 | ±5 % |
| 電纜長度 | 2.0 | 米 | +0.1米 |
| 傳感器/電壓連接 | Sub-D37連接器（公頭） |
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