精密級線性定位平臺

PILine®平臺尤其適合要求快速精密定位的應(yīng)用。關(guān)機后，自鎖驅(qū)動器保持平臺位置的機械穩(wěn)定。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動或熱敏型的低占空比應(yīng)用可得益于這些特點。軸的位置通過一個編碼器和一個光學(xué)參考開關(guān)測量，該開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運動。壓電電機驅(qū)動器原理及其電氣操作成本低，可定制。

PILine®超聲波壓電電機

作為PILine®超聲波壓電電機的一部分，壓電陶瓷促動器上被施加預(yù)載，通過一個耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下，壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動。建立的進(jìn)給為幾納米每循環(huán)；高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動器在靜止?fàn)顟B(tài)下和關(guān)機時自鎖。

采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以的精度直接在運動平臺上測量實際位置，因此非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。

有效

美國號為6,765,335B2

歐洲號為1267425B1

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微操縱、自動化、生物科技、樣本操作、樣本定位、空間有限的應(yīng)用、真空應(yīng)用達(dá)10^-6 百帕（可選）。