在測(cè)試無(wú)塵室之前，若是能對(duì)測(cè)試規(guī)范、無(wú)塵室基本概念、無(wú)塵室的術(shù)語(yǔ)等有些了解，對(duì)測(cè)試當(dāng)有幫助。這里是一些背景資料，提供給讀者參考。
有關(guān)無(wú)塵室定義、建造、控制、管理等等的標(biāo)準(zhǔn)，無(wú)塵室的定義，zui早是在美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn)，之后日漸普及并廣為半導(dǎo)體業(yè)與制藥業(yè)接受。在歐洲與日本，隨著工業(yè)的日益發(fā)展，各國(guó)的版本也逐漸出現(xiàn)。到了90年代后期，產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到若是無(wú)共同標(biāo)準(zhǔn)，就不能實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的化，于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說(shuō)明無(wú)塵室的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范。
1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，209的出版發(fā)行，是在1960年代，之后不斷改版以因應(yīng)科技進(jìn)步與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的zui后一版209E。在2001年11月29日，美國(guó)正式宣布廢止209E，改用ISO-14644，于是209E在書面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界，除了部份的歐洲公司之外，美國(guó)、日本、中國(guó)臺(tái)灣、與中國(guó)大陸，都還沿用209E。微粒計(jì)數(shù)器的制造商，雖然都推出滿足公制計(jì)數(shù)法的新機(jī)型，但是要等舊機(jī)器*淘汰，恐怕還要很長(zhǎng)時(shí)間，因此新規(guī)范ISO-14644還沒能取代209E。
2.ISO-14644系列；美國(guó)政府為了推動(dòng)經(jīng)濟(jì)化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644。14644系列有8個(gè)子題，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個(gè)系列涵蓋了等級(jí)定義、測(cè)試與監(jiān)視的規(guī)范、測(cè)試的程序方法、設(shè)計(jì)與建造、操作、以及其它的有關(guān)設(shè)備等，范圍很廣。有些主題已經(jīng)定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿，有些連初稿都還沒有，讀者可以到ISO或IEST的上訂購(gòu)。
3.JIS B9920 (1989)：日本的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定無(wú)塵室中浮游粒子的濃度測(cè)定方式，及潔凈度的等級(jí)定義。