干式螺桿真空泵的工作原理
干式真空泵技術(shù) — 尤其是可變螺距化學(xué)干式泵 — 在多種關(guān)鍵應(yīng)用中具有明顯、可衡量的優(yōu)勢。正確設(shè)計(jì)的干式螺桿真空泵可通過安全、可靠且經(jīng)濟(jì)高效的解決方案確保滿足加工需求。
干式螺桿真空泵不需要水或油即可在真空級(jí)進(jìn)行密封或潤滑。因此，這些干式真空系統(tǒng)避免了廢水的產(chǎn)生、污染和高昂的處理成本。
干式螺桿真空泵的運(yùn)行
•干式螺桿真空泵由兩個(gè)平行的、非接觸式螺旋形螺旋轉(zhuǎn)子 (1)和 (2)組成(圖 1)，并通過精密齒輪 (3) 高速同步旋轉(zhuǎn)。它們沿相反的方向旋轉(zhuǎn)，從而在進(jìn)氣口 (5) 處捕集一定量的氣體，并將其向排氣口 (6) 輸送并進(jìn)入排氣通道 (7)。缸體 (9) 壁和相互嚙合的螺釘?shù)奶厥庑螤钚纬闪擞糜谳斔蜌怏w的壓縮室或腔室 (4)。
•螺桿和缸體之間的小間隙，以及相互嚙合的螺釘之間的小間隙確保了與由螺釘腔產(chǎn)生的氣體向前流動(dòng)相比，向進(jìn)氣口的反向泄漏量較小。
•密封邊界的長度(即，螺旋數(shù)和緊密間隙)可防止泵送氣體逆流。在裝有壓板的泵上，當(dāng)出口閥或端口首次露出時(shí)，氣體會(huì)略微反向膨脹進(jìn)入到螺桿中。在螺桿的作用下，捕獲的氣體量逐漸減小到零，因此可以迅速將其排出。
•氣體的反向流動(dòng)主要由螺桿輪廓末端的“密封區(qū)”的寬度控制。這些寬闊的區(qū)域與定子緊密相鄰，從而將氣體的反向泄漏降至最低。螺桿泵的極限壓力可以小于 0.01 torr (0.01 mBar)。
•在可變螺距模型中，隨著螺距的變化，氣體會(huì)被壓縮，從而在泵排氣之前提供額外的壓縮。這使熱負(fù)荷在轉(zhuǎn)子的整個(gè)長度上更均勻地分布。在單螺距模型中，在最后半圈中抵靠著壓縮板或閥實(shí)現(xiàn)更大的壓縮，從而將熱量的產(chǎn)生偏向排氣口。在干式泵中，溫度必須足夠高以避免整體冷凝，同時(shí)又必須足夠低以避免自燃和聚合?？勺兟菥啾弥谐蚺艢饪诘闹饾u升高的氣體溫度在很大程度上有助于防止泵送的蒸汽凝結(jié)?？勺兟菥嗦輻U泵也比單螺距螺桿泵更有效地利用動(dòng)力。
•通過周圍的護(hù)套 (8) 進(jìn)行冷卻?？梢詫⒈门渲脼橹苯踊蜷g接的閉環(huán)冷卻。后者有很多優(yōu)點(diǎn)，因?yàn)檫@意味著裝置的冷卻水永遠(yuǎn)不會(huì)與泵的材料直接接觸，并且護(hù)套不會(huì)因冷卻水質(zhì)量差而淤積或腐蝕。
•有氣鎮(zhèn)端口 (10)。如果需要，氣鎮(zhèn)可以幫助快速加熱冷泵或干燥濕泵，將易燃蒸氣排除在其易燃范圍之外，并有助于從泵中清除固體，特別是在沖洗溶劑期間。
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