半導體IC／晶圓制造廠煙氣排放在線監(jiān)測

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更新時間：2025-03-10 07:36:41瀏覽次數：116次

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上海博測環(huán)境科技有限公司

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產品簡介

BO-SYS400IC滿足同時監(jiān)測全部排口，多種因子，包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該系統(tǒng)采用了的光譜法（UV/IR）監(jiān)測酸堿氣體和氣相色譜法（GC-FID）監(jiān)測VOCs氣體。

詳細介紹

一、產品介紹

半導體集成電路（IC）/晶圓制造是我國重點扶持和發(fā)展的領域，在生態(tài)環(huán)境保護方面，IC/晶圓制造廠也在加大投入污染治理和污染物在線監(jiān)控，以降低對生態(tài)環(huán)境和居民的影響。

煙氣排放在線監(jiān)測

二、半導體IC／晶圓制造廠煙氣排放在線監(jiān)測技術特點

然而，IC/晶圓制造廠的廢氣/煙氣排放煙囪很多，有酸性排口，堿性排口（NH3）和VOCs排口，每個Fab廠都有十到幾十個煙囪排口，而且酸性氣體多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs種類多（非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要對每個煙囪排口進行在線監(jiān)測，就需要綜合考慮國際上的監(jiān)測技術和建設經濟效益，選擇的解決方案。

三、BO-SYS400IC解決方案

BO-SYS400IC是我司針對上述難點所提供的整體解決方案，滿足同時監(jiān)測全部排口，多種因子，包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該方案采用了的光譜法（UV/IR）監(jiān)測酸堿氣體和氣相色譜法（GC-FID）監(jiān)測VOCs氣體。

關鍵詞：氣相色譜

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