上海東庚設備工程技術有限公司是德國寶德（BURKERT）公司長期授權服務商，負責Burkert產品在國內的銷售并提供技術服務。產品包括電磁閥、過程控制閥、儀器儀表、微流量閥、氣動產品，廣泛應用于水處理、醫(yī)藥化工、食品飲料生產、氣體應用、醫(yī)療器械和實驗室設備，Burkert在全球 Fluid Control Systems 領域處于地位，Bürkert 公司不僅是流體技術開發(fā)商，同時也是機械生產、泵技術、線圈生產、塑料技術和焊接技術方面的專家。而且還是工具制造商、軟硬件開發(fā)商、配電和設備制造商、項目經理等等。此外，Burkert還負責全球許可證。對客戶的定制服務不僅僅是單獨開發(fā)產品，而也包括其相關的生產流程和物流作業(yè)流程。為客戶訂制個性化解決方案.

• 工作原理：基于熱傳導原理，利用熱 MEMS 傳感器測量。傳感器直接位于氣流中，內置加熱元件和測溫元件。當氣體流動時，加熱元件的熱量被氣體帶走，測溫元件檢測到溫度變化（ΔT），通過 ΔT 與氣體質量流量的線性關系，結合 PID 控制算法，實時調節(jié)閥門開度，實現(xiàn)流量閉環(huán)控制。

• 主要特點

• 高精度和高重復性：測量精度可達 ±0.8% o.R. ±0.3% F.S.，誤差通?！?plusmn;1% F.S.，重復性達 ±0.2% F.S.。

• 極快的響應時間：響應時間＜300ms，能快速對流量變化做出反應，適用于動態(tài)調節(jié)場景。

• 寬量程比：可調比為 50:1，可選 100:1，額定流量范圍為 0.010l/min 至 160l/min。

• 通信功能強大：可配備工業(yè)以太網、模擬或現(xiàn)場總線接口?；?CANopen 的 Bürkert 系統(tǒng)總線（büS）版本，能方便地集成到現(xiàn)有的 CANopen 網絡中，或與 ME43 型現(xiàn)場總線網關結合，集成到工業(yè)以太網或現(xiàn)場總線的所有通用工業(yè)標準中，最多 32 個 MFC/MFM 可連接至現(xiàn)場總線網關。

• 配置靈活：可根據(jù)需要配置為 MFM 或 MFC，設備最多可存儲四條校準曲線，方便用戶針對不同氣體或應用場景進行校準和切換。還可通過配置記憶卡簡化設備的更換工作。

• 應用場景：廣泛應用于半導體、新能源、環(huán)保、科研、醫(yī)療及航空航天等領域。例如在晶圓清洗、氣相沉積（CVD）、刻蝕工藝中的氣體輸送控制，以及氫能系統(tǒng)中燃料電池的氫氣流量控制等場景。

• 技術參數(shù)

• 工作介質：中性、未受到污染的氣體，根據(jù)要求也可使用其他介質。

• 校準介質：工作氣體或空氣。

• 工作壓力：10bar（145psi），對于 MFC，最高工作壓力取決于閥門有效通徑。

• 環(huán)境溫度：-10°C 至 + 50°C，根據(jù)要求可以適用于更高的溫度。

• 防護等級：IP20。

• 工作電壓：24V DC。

• 功率消耗：1…3W（作為 MFM）。