超純水的特性：超純水（high-purity water,ultra-high purity water,highly purified water）是水分子純度的水，通俗點(diǎn)講就是只含有水分子（H2O），不含有其它任何雜質(zhì)。主要體現(xiàn)2方面：一是具有導(dǎo)電性能的離子基本不含，其水質(zhì)電阻值為18.2 MΩ•cm @25℃；另一方面是水體中其它不導(dǎo)電的雜質(zhì)幾乎不含，其中的雜質(zhì)的含量小于0.01mg/L（TOC：<20ppb 有機(jī)物：<0.01AU@254nm 殘留固體：<200ppb ）。

水的電阻率（衡量水中導(dǎo)電物質(zhì)的多少）為18.248兆毆每厘米在水溫25℃時(shí)，理論上可以算作超純水。國(guó)家頒布的上等實(shí)驗(yàn)室用水標(biāo)準(zhǔn)，就是在25℃時(shí) 水的電阻率大于10 MΩ•cm，電子級(jí)上等用水標(biāo)準(zhǔn)是18.2 MΩ•cm，但水溫不同超純水的電阻率測(cè)出的數(shù)值是不同的。一般測(cè)量電阻率的電極都帶有測(cè)溫探頭，用作溫度補(bǔ)償。而這樣測(cè)出的電阻率叫比電阻率。電阻率只是衡量超純水的一個(gè)指標(biāo)，還有些有機(jī)物的指標(biāo)（不導(dǎo)電）是不能用電阻率衡量的，如TOC、**、內(nèi)** ，超純水的具體技術(shù)參數(shù)要求要依據(jù)用戶使用的環(huán)境用途來確定。

目前常用制取工藝手段：預(yù)處理+二級(jí)RO+UV+EDI+拋光+微孔