非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品用途:
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優(yōu)良且具有成本效益的涂膜機,用于研發(fā)非導電材料薄膜。
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格:
輸入功率 | - 220 VAC, 50/60Hz, 單相
- 800 W (包括泵)
- 如果電壓為110 VAC, 則需要1000 W 變壓器
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電源 | 一個13.5 MHz, 300 W 具有自動匹配功能的射頻發(fā)生器內(nèi)置于機柜中并連接到 2" 濺射頭 |
磁控濺射頭 | - 包括一個帶有水冷套的2"磁控濺射頭,并通過快速夾具插入石英腔
- 一個擋板安裝在法蘭上(手動操作)
- 冷卻磁控濺射頭需要一臺16升/分鐘的數(shù)控再循環(huán)冷水機組(不包括)
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濺射靶 | - 靶尺寸要求: 2" 直徑×1/4"厚度Max
- 包括一個SiO2 靶用于演示測試
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真空室
| - 真空室:外徑160 mm×內(nèi)徑150 mm×250 mm高度。由高純度石英制成
- 密封法蘭:直徑165毫米。由鋁制成,帶有高溫硅膠O形圈
- 包括不銹鋼網(wǎng)罩,用于100%屏蔽來自腔室的RF輻射
- 真空度:1.0E-2托,配備雙級機械泵,1.0E-5托,帶可選渦輪泵
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樣品架 | - 樣品架可旋轉(zhuǎn)且可加熱,由帶有不銹鋼蓋的陶瓷加熱器制成。
- 樣品架尺寸:50毫米直徑。大2英寸晶圓
- 旋轉(zhuǎn)速度可調(diào):1 - 10 rpm,均勻涂層
- 通過數(shù)字溫度控制器,支架溫度可在RT至500℃ Max范圍內(nèi)調(diào)節(jié),精度為+/- 1.0℃。
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真空泵站
| - 內(nèi)置KF25真空端口,用于連接真空泵。
- 需要一個帶KF25適配器的真空泵,但不包括。
- 真空度:雙級機械泵1.0E-2托,渦輪泵1.0E-5托。
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整體尺寸 | 650 mm L×650 mm W×1630 mm H |
凈重 | 70 kg |
售后服務(wù) | 貨物發(fā)出后,CYKY提供一年免費售后服務(wù),服務(wù)方式限于電話指導、視頻指導、郵件指導、配件郵寄等遠程。如需要派人現(xiàn)場服務(wù),客戶需要支付服務(wù)人員差旅費和出差期間的工資。 |
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