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一、超純水之定義DI=Deionized,DIWater=DeionizedWater,為去離子之意,亦即通稱(chēng)之純水(PUREWATER),近來(lái)由于半導(dǎo)體制程對(duì)設(shè)計(jì)規(guī)則之需求朝更精密更細(xì)小的趨勢(shì)發(fā)展,因而對(duì)純水水質(zhì)的要求也越趨嚴(yán)格,在此嚴(yán)格水質(zhì)要

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