倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空計

Gemini MPG55x / MAG55x

INFICON Gemini™倒置磁控管真空計是所有真空測量應(yīng)用的動力源泉。Gemini MPG50x將兩項傳感器技術(shù)整合在一個小裝置中，測量范圍從大氣壓至1 × 10^-9毫巴；而 Gemini MAG50x是一個純冷陰極傳感器系統(tǒng)(不含皮拉尼元件)，測量范圍從1 × 10^-2毫巴至1 × 10^-9毫巴。獲得的超低雜散磁場設(shè)計為全新的應(yīng)用領(lǐng)域開啟了大門?？苫Q式雙室傳感器單元不用清洗并減少了維護(hù)，使Gemini成為同類產(chǎn)品中極其堅固耐用的經(jīng)濟(jì)型真空計。

MAG和MPG Gemini現(xiàn)在提供EtherCAT現(xiàn)場總線和設(shè)定點MAG55x和MPG55x。

對于腐蝕性應(yīng)用，我們建議使用陶瓷涂層版本MxG5x4。傳感頭內(nèi)部的饋入裝置和皮拉尼采用全陶瓷涂層，增強了耐腐蝕性。

優(yōu)勢

• 在惡劣環(huán)境下，使用壽命長

• 可靠的快速點火

• 低雜散磁場

• 可選測量電流

• 快速維護(hù) — 可更換電離室

• 耐腐蝕饋入裝置和傳感器元件

• EtherCAT和RS232/RS485數(shù)字接口

• 緊湊尺寸，易于集成

• 2個繼電器設(shè)定點(MxG55x)

應(yīng)用范圍

• 基礎(chǔ)壓力監(jiān)測和控制，在蒸發(fā)和濺射鍍膜應(yīng)用中，測量范圍從大氣壓到高真空。

• 一般真空測量 — 工業(yè)爐、建筑玻璃、半導(dǎo)體、生產(chǎn)實驗室。

分析和研發(fā)應(yīng)用 — 質(zhì)譜分析、電子顯微鏡、眼科、光學(xué)、醫(yī)療和高能物理。