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Edwards PVPK 閥是快速反應(yīng)的氣動(dòng)操作直角隔離閥，帶有波紋管和 O 形密封圈，可用于提供無(wú)油脂的真空環(huán)境。這種閥帶有直觀和電子的閥狀態(tài)指示功能，可以選...

BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的，可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行，從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的...

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Edwards 前級(jí)/粗抽閥配有 ISO NW 粗抽和預(yù)抽真空泵端子，采用手動(dòng)和氣動(dòng)操作方式。這是一個(gè)完整的 3 端口裝置，集獨(dú)立的前級(jí)/粗抽閥的功能于一身。

這類(lèi)閥是軟啟動(dòng)的氣動(dòng)操作管線閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會(huì)導(dǎo)致微粒污染問(wèn)題的制程提供受控的制程抽氣。隨動(dòng)閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進(jìn)行，以盡可能減...

Edwards GV 系列不銹鋼密封插板閥適用于需要整體密封且在殘留大氣中存在低限度碳?xì)浠衔锏膽?yīng)用。這些質(zhì)量出眾的閥提供了高度的整體真空和高的傳導(dǎo)性。