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概述

寬量程真空計(jì) (WRG) 系列在從大氣壓到 10-9 mbar 的壓力下提供單接口壓力測(cè)量結(jié)果，并且提供線性輸出。它是緊湊型的解決方案，所需空間和連接硬件均減少了一半，這對(duì)很多應(yīng)用來說是重要的優(yōu)勢(shì)。WRG 具有很多新穎的特點(diǎn)，包括新的放電器、按鈕校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)控制和的診斷功能。WRG 是高效的真空管理解決方案，可以與 Edwards 控制器一起使用，也可以直接集成到系統(tǒng)控制中。

應(yīng)用

任何需要在很寬的范圍內(nèi)測(cè)量壓力的真空系統(tǒng)。具有 AGD 的 WRG 代表一種用于實(shí)現(xiàn)此目標(biāo)的簡單和極為高效的手段。
對(duì)于可能要將真空計(jì)直接集成到制程控制器中的工業(yè) OEM 而言，線性輸出和平衡使 WRG 成為一種富有吸引力的選擇。
WRG 適合在多種 HV 和 UHV 應(yīng)用中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之間花費(fèi)的時(shí)間多，Edwards 建議采用獨(dú)立的 APG100 皮拉尼真空計(jì)和 AIM 潘寧真空計(jì)，因?yàn)檫@樣將提高真空計(jì)在應(yīng)用中的性。

功能和優(yōu)勢(shì)

微處理器信號(hào)處理允許在皮拉尼和磁控管輸出以及線性輸出之間無縫轉(zhuǎn)換（記錄壓力刻度）
自動(dòng)為皮拉尼真空計(jì)元件進(jìn)行真空設(shè)置
單一按鈕大氣設(shè)置
可輕松編程的設(shè)定點(diǎn)涵蓋整個(gè)測(cè)量范圍
磁控管使用的進(jìn)行高度的放電，即使在高真空或相對(duì)污染的環(huán)境下也無妨
通過降低點(diǎn)火后的 HT 電壓以及采用低放電電流，延長了維修間隔和真空計(jì)壽命
結(jié)構(gòu)極為緊湊，采用凹進(jìn)式電氣接頭
易于維修；皮拉尼和磁控管元件均可以單獨(dú)更換
綜合性故障模式診斷裝置
D 型包括電纜應(yīng)變消除和增強(qiáng)的灰塵防護(hù) (IP44)

數(shù)據(jù)

壓力范圍	大氣壓至 10-9 mbar/Torr
準(zhǔn)確度	通常為 ±15% <100 mbar 以及 ±30%<10-3 mbar
大過壓	6 bar (87 psia)
電源供給	+14.5 至 +36 V 直流
功耗	2 W（大）
輸出信號(hào)	1.8 至 10.2 V 直流
調(diào)節(jié)	大氣壓和設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn)	開路集電極晶體管
大電壓	40 V 直流
電流	100 mA 大
溫度范圍
工作	+5 至 +60 oC
存儲(chǔ)	0 至 +70 oC
暴露于真空中的材料（NW 和 CF 型）	不銹鋼（AISI 304、316、321、347）、氟橡膠、鈉鈣玻璃、鎢、微量鎳和鎳鐵
內(nèi)部體積	26 cm3
重量	0.8 kg
外部接口連接器	8 路 FCC68/RJ45 插座
接口電纜	有源真空計(jì)電纜的使用范圍
標(biāo)準(zhǔn)
電磁兼容性	EN 61326 工業(yè)地點(diǎn)，B 類排放
機(jī)箱等級(jí)	IP40
針腳分配
1.電源供給正極	5.信號(hào)共用
2.電源供給共用	6.設(shè)定點(diǎn)輸出
3.壓力表輸出	7.大氣壓校準(zhǔn)
4.壓力表標(biāo)識(shí)	8.未連接