薬液用溫調(diào)裝置
ケミカルペルサーモ（水冷）ウェットプロセスに欠かせない薬液をダイレクトに高精度に溫調(diào)可能
ETD、ETNシリーズ
〔電源ユニット〕
ETD232-SA-A-G2 / ETD452-SA-G2
ETD832-SA-G2
〔冷熱ユニット〕
ETN23A-N / ETN45A-N / ETN90A-N
- 電源ユニットと冷熱ユニットで1セットとなります。
冷卻能力約280～920W制御精度±0.1℃溫度制御範囲15～50℃
- 0.3MPa の耐水圧構(gòu)造
- 制御用溫度センターを冷熱ユニットに內(nèi)蔵可
（特注対応） - 接続用ケーブルの延長ケーブルあり
（オプション対応）
仕様
仕様表(冷熱ユニット)
| ETN23A-N | ETN45A-N | ETN90A-N | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 適用流體※1 | DIW/DHF/BHF/FPM/SC1 | ||||
| 性能 | 溫度制御範囲 | ℃ | 15～50(50以上についてはご相談ください) | ||
| 制御精度 | ℃ | ±0.1(條件によって異なる) | |||
| 冷卻能力/加熱能力※2 | W | 約280/約600 | 約460/約1,000 | 約920/約2,000 | |
| 放熱(冷卻)方式 | 水冷式 | ||||
| 制御用溫度センサ | Ω | Pt100(JIS0.2級)テフロンモールド(オプション) | |||
| 機內(nèi)圧力損失(薬液側(cè)) | MPa | 0.01以下(流量15L/min) | 0.02 (流量15L/min時) | ||
| 機內(nèi)耐圧(薬液側(cè)) | MPa | 0.3 | |||
| 使用周囲溫度範囲 | ℃ | 15～35 | |||
| 薬液側(cè)出口・入口接続部 | 3/4”×5/8”×L150(New PFA) | ||||
| 放熱水 | 水量 | L/min | 5～7 | ||
| 接続口 | 3/8”×1/4”×L150(PFA) | ||||
| 熱交換接液部材質(zhì) | 薬液側(cè) | PTFE, New PFA | |||
| 冷卻水側(cè) | グラファイト, PPE, SUS316, PFA, NBR | SUS304, 316, PFA | |||
| 外裝 | 硬質(zhì)PVC | ||||
| 質(zhì)量 | kg | 約10 | 約14 | 約28.5 | |
| 外形寸法(高さ×奧行×幅) | mm | 220×330×147 | 260×530×145 | ||
- 濃度及び記載以外の薬液についてはご相談ください。(濃度によっては使用できない場合もございます。)
- 設定溫度25℃、冷卻水25℃、冷卻水量 5 ～ 7L/min、周囲溫度 25℃時
仕様表(電源ユニット)
| ETD232-SA-A-G2 | ETD452-SA-G2 | ETD832-SA-G2 | ||
|---|---|---|---|---|
| 入力電流(AC208V)時 | A | 約4.5 | 約9 | 約17 |
| 電源 | V(Hz) | 単相200～240(50/60) | ||
| 制御方式 | PID制御 オートチューニング | |||
| 質(zhì)量 | kg | 約5.0 | 約10 | 約18 |
| 外形寸法(高さ×奧行×幅) | mm | 165×430×140 | 215×460×165 | 305×470×2408 |
外形図
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